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1.可用于对不同形状尺寸的基片进行喷胶.喷胶尺寸要求达到3米。
2.可对不同粘度的胶进行喷涂,供胶分辨率在15uL以内
3.可对大深宽比结构进行侧壁涂胶,得到厚度均匀的胶膜。
4.喷胶均匀性要求:单片表面≤±10%,片间为≤±10%。
5.计算机系统控制工艺参数。
6.可手动卸载基片或机械手卸载基片。
7.喷胶室易清洗。
8.供胶流速和流量可编程。
9供胶回吸量可调节。
10.适用于所有光刻胶和聚合物。
11.基片可对准。
12、带自动清洗功能。
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喷胶机维护主要是不定期的进行清洗,还有一些部件需要加注润滑油的,需要严格按照要求来进行,不可以随意拆卸,以免影响系统的正常运行。
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PLC读取通过控制面板输入的喷胶方式、喷胶时间及喷胶量等过程参数,同时检测喷胶头安全门是否全部关闭。因此喷胶头周围安装有有机玻璃的防护安全门,在正常工作状态下,安全门关闭,既保证工作安全,又便于观察设备实时运行状况。如果安全门由于某种原因突然被打开,求购自动喷胶机厂家,则设备紧急停止,待安全门正常关闭后,大连自动喷胶机,按下复位按钮,设备继续工作。之后,电磁阀得电换向,喷胶头打开,胶在泵压下喷出。
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