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喷胶机维护主要是不定期的进行清洗,还有一些部件需要加注润滑油的,需要严格按照要求来进行,不可以随意拆卸,以免影响系统的正常运行。
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1.可用于对不同形状尺寸的基片进行喷胶.最大喷胶尺寸要求达到3米。
2.可对不同粘度的胶进行喷涂,三亚喷胶机,供胶分辨率在15uL以内
3.可对大深宽比结构进行侧壁涂胶,得到厚度均匀的胶膜。
4.喷胶均匀性要求:单片表面≤±10%,喷胶机生产厂家,片间为≤±10%。
5.计算机系统控制工艺参数。
6.可手动卸载基片或机械手卸载基片。
7.喷胶室易清洗。
8.供胶流速和流量可编程。
9供胶回吸量可调节。
10.适用于所有光刻胶和聚合物。
11.基片可对准。
12、带自动清洗功能。
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喷胶的均匀性由喷幅和覆盖次数决定,一般覆盖3--4次,胶层很均匀
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