超纯水技术的发展主要是随着半导体技术发展起来，随着半导体大规模集成电路、8吋、12吋晶圆的运用，对超纯水技术的要求愈加严格，不仅仅限于电阻率≥18.1MΩ.cm at 25℃ 甚至18.2MΩ.cm，对TOC、DO、SiO2、Particle、各种离子指标也有更高的要求。
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常规水质指标：
电阻率：≥18.1MΩ.cm at 25℃
TOC: ≤5 ppb
颗粒：（≥0.1um）：≤5 pcs/mL
SiO2：≤2 ppb
DO：≤5 ppb
Na+：≤50 ppt
细菌：≤1 cfu/L
工艺流程：
MMF+ACF(或：前处理UF)+Double Pass RO+TOC UV1+DO1+EDI+ TOC UV2+ DO2+Polisher 1+Polisher 2 +UF
超纯水设备本质
连续电除盐(EDI，Electro deionization或CDI，continuous electrode ionization)，是利用混和离子交换树脂吸附给水中的阴阳离子，同时这些被吸附的离子又在直流电压的作用下，分别透过阴阳离子交换膜而被除去的过程。这一过程离子交换树脂是电连续再生的，因此不需要使用酸和碱对之再生。这一新技术可以替代传统的离子交换装置，生产出高达18M-CM的超纯水。又可以比较清晰地描述如下：EDI是利用阴、阳离子膜，反渗透超纯水设备报价，采用对称堆放的形式，在阴、阳离子膜中间夹着阴、阳离子树脂，分别在直流电压的作用下，进行阴、阳离子交换。而同时在电压梯度的作用下，医用超纯水设备报价，水会发生电解产生大量H+和OH-，这些H+和OH-对离子膜中间的阴、阳离子不断地进行了再生。由于EDI不停进行交换——再生，使得纯水度越来越高，EDI超纯水设备报价，所以，轻而易举的产生了高纯度的高纯水。
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行业水质标准
超纯水水质分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。
超纯水原理
超纯水：既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于10～18.3MΩ*cm极限值。
超纯水，是一般纯水设备很难达到的程度，通常采用预处理、反渗透技术、电去离子（EDI）装置超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换（抛光）、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ*cm。
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