1. 光化学法：即紫外光使氧气分子O2分解并聚合成臭氧O3，大气上空的臭氧就是由此产生。
2. 电化学法：利用直流电源电解含氧电解质产生臭氧气体的方法
电晕放电法：利用交变高压电场使含氧气体产生电晕放电，电晕中的自由高能电子离解O2分子，经三体碰撞反应又聚合成O3分子，
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优点
由于臭氧在水中易分解为0，所以不但可起到杀菌消毒的作用，而且还可使水体增氧。臭氧在净化水质的过程中，不会改变水中的原有成分，能保持水中所含的对水生动物有益的矿物质。
臭氧净化水源的同时，还可起到减少动物肠道内以宿主营养为生的细菌数，降低细菌营养消耗，而且使有益菌分泌的淀粉酶活性增强，提高了动物对食物营养成分的利用效果，促使动物健康的生长。
臭氧通过氧化絮凝作用对水质起到净化作用，不会产生二次污染物。消毒过程中产生的氧化物是无毒、无味能生物降解的物质。
4影响作用效果的因素
水的温度。相同的臭氧浓度，在不同的水温下，大型臭氧机臭氧一体机，溶于水中的量不同。水温越低水中的溶解度越高，如30℃时溶解度为22％，10℃时为54％，大型臭氧机，0℃为69％。
水中的无机离子。当水中存在较多无机离子时，大型臭氧机水处理，会加速臭氧的分解，从而使臭氧的浓度降低，妨碍杀菌的效率。
水中的浑浊度。据报道，当水的浑浊度在5毫克/升以下时，对臭氧杀菌效果的影响不大；但当浑浊度在5毫克/升以上时，则有影响。因为此时有很大一部分的臭氧用于对有机物及无机物的氧化分解
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